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第80章 大佬的帮助(第2页)

EUV光刻机的工作原理并不算复杂,就是将非常窄的光束照射到经过“光刻胶”化学品处理的硅晶片上,在光线与化学品接触的硅基晶片上形成复杂的图案,这些图案是事先精心设计好的。

这个形成所有重要晶体管的过程被称为光刻。

他们的石墨烯芯片的生产,自然也是相同的,不过这个过程说起来很简单,实际上超级复杂,在指甲盖大小的晶圆上安装数以亿计的晶体管,要想将这些晶体管连接起来,只能采用纳米级的电路。

光刻机中的曝光光源决定了光刻工艺加工器件的线宽等特征尺寸,当前市场主流采用深紫外(DUV,193nm)光源,最先进的是采用极紫外(EUV,13.5nm)光源的的EUV光刻机。

可这是针对于硅晶圆旋涂的光刻胶。

张旭他们研究的是石墨烯晶圆旋涂的光刻胶。

这两者完全不相同的材料,所使用的光源自然也就不一样。

光刻机大项目的负责人黄亮,带领着团队,上一休一,持续了三个多月,终于在动力系统、测量系统、避震系统、密封系统、液压光镜材料等等方面都取得了不错的成果,可现在他们却卡在了光源这一步。

这让张旭有些头疼,光源这东西,张旭又不能直接给这些研究人员说,我们试试这个光源,一定能够成功,然后拿出详细的资料来,这不明摆着告诉他们这些人,我有问题吗。

所以张旭就只能和这些研究员们一起做研究,尽可能的把他们往自己想要的方向去带。

“哦,对了,还有一件事情,我求教我的老师了,希望他能够在这方面帮帮我们,老师给我了一份资料,我还没有来来得及看,张总要不要过来参谋一下?”

秦彤本来还在聊着待会的测试的问题,突然想起了什么,连忙转移话题说道。

“你的老师?”

张旭疑惑的问道。

秦彤可是清华大学毕业的博士生,能够当她老师的,估计是清华大学里面的大佬了,这种大佬给出的建议,张旭还是觉得很有参考价值的。

想到这里,张旭连忙点了点头。

“这就是我老师给的资料,我老师前段时间就在和德国那边进行相关的研究,我听师妹说好像马上要出成果了。”

秦彤一边介绍着,一边把老师给的资料找了出来。

而从秦彤的介绍中,张旭也知道了她的老师是谁。

唐翔。

清华大学物理系主任。去年入选华夏工程院院士增选名单,按照这个流程,估计不出几年就能够评上院士了。

这确实是大佬级别的人物。

而且这位大佬研究方向为加速器物理、高亮度电子注入器、加速结构、新型X射线源等,在光源方面有比较深的研究

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