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相对而言,专利保护法更容易受到保护是消费产品的相关专利,侵犯了专利的友商产品除非不上市,一旦上市,其专利侵权的部分肯定会被发现。
这项技术非常简单,但是意义却是非凡了。仅以能耗为例,6英寸装料量60公斤的单晶炉为例平均能耗在120KH,而采用了最原始的固定式热屏技术,单晶炉的能耗就可以轻易的降低到90KH。而且,采用了热屏的单晶炉,还能显著提升单晶的生长速度,单晶的直径尺寸和良品率也大幅度的提升。
而后来固定式热屏技术的基础上,还出现了更先进的移动热屏,该技术直接把能耗进一步降低,原本能耗120KH的单晶炉,能耗可以进一步降低到了60KH!
后世的半导体行业爆产能,热屏技术也做出了突出的贡献。后世的电子产品的消费者,实际上,也是单晶炉热屏技术的受益者。
1986年7月,在孟欣率领下,单晶炉热屏技术就迅速从理论变成实际的产品。
这项成果本质上并不是太难,成本也不是很高。在成本大概5000多块钱的国产单晶炉里面,增加一个固定的组合件。大致上,仅需要不到1万元成本就可以将一台单晶炉改造成有固定热屏的新式单晶炉。
而目前进口的单晶炉,成本不低于1万美元一台,在比国产的单晶炉更贵的情况下,性能却远远不如这种新式带热屏的单晶炉。
这种一万美元一台的设备,实际上顶多用35次就报废,需要更换新的单晶炉。当然了,国外有寿命更长的单晶炉,能用十次左右,但却是禁止对天朝出口的。几十年后单晶炉寿命则是轻易的达到上百炉甚至更长久的寿命。当然了,配合热屏技术的话,晶圆生产的成本和效率,将达到80年代的半导体厂商难以想象的程度。
当然了,使用寿命更长的单晶炉,这则涉及到更复杂的材料学,并不是简单的弄出一份设计图纸就能搞出来。
刘森疑惑的问道:
“这个技术很厉害?”
刘森毕竟不是理工狗,所以只知道CPU、显卡、内存、硬盘、显示面板等等普通消费者看见的摸得着的东西。
还有就是最复杂的光刻机,由于芯片加工都需要光刻机,光刻机也是晶圆加工工业中,最昂贵的设备。集成电路能集成多少晶体管,主要取决于光刻机的精度。所以,即使是小白,都知道光刻机非常关键!
相对于高大上的光刻机而言,单晶炉就显得很土鳖,很少有外行人关注单晶炉技术的发展。
孟欣微笑着说道:
“当然厉害了!决定芯片性能和产能的,不仅仅是光刻机,晶圆的产能和质量,也是非常关键和重要的技术。
仅凭着这项技术,至少可以给你们的芯片节省30的成本!品质更高的晶圆,也会让芯片加工的良品率更高、性能更好!其实短期内,光刻机的技术没取得突破,仅凭着单晶炉的技术突破,就足以让芯片产能、性能、成本等等指标,都获得大幅度的提升!”
刘森不禁感觉到惊讶:
“这么厉害!”
孟欣说道:
“当然!换做是听你的,头疼医头,脚痛医脚,即使我现在就帮你们改进光刻机技术,保守估计也需要一年以上时间,才能有成效。而且,我现在去给你研发215微米的光刻机,属于严重浪费宝贵的科研资源。跟在国际厂商后面模仿,你们现在的团队就可以了。
我的团队,将直接从1微米起步,研发投影式光刻机!我参观了维创半导体和L山半导体的工厂,都是接近式光刻机,70年代的技术,现在是主流。但是技术升级潜力有限,所以,很快就会被投影曝光式光刻机所替代!”
刘森点了点头,知道技术上孟欣比自己家兄弟强无数倍。
有未来技术资料作为参考的孟欣,可能是世界上最厉害的技术大牛。
业内人士刚有一个初步的想法,她已经清晰的了解未来的技术发展趋势,很多现在是机密的技术,在未来已经是能公开的资料。
于是,刘森就通知了老大刘焱,刘焱一听立马就不淡定了。
7月份,在刘焱强行的推广之下,维创半导体公司开始正式大规模的推广热屏单晶炉。
虽然,一开始有些技术人员比较固执,觉得贸然采用一种从来没听过的技术有点冒险。但是仅仅过了一周之后,反对声就彻底消失了。
谁反对,生产线上的一线技术人员立马就会敲爆他们的狗头!因为,热屏技术的好处,那是立竿见影的!
采用了热屏技术的单晶炉,不仅仅节约25的电费,而且,单晶棒的直径、长度都远远超过预期。原本用来实验的是4英寸的单晶炉,这种单晶炉生产出来的晶圆直径应该在1016毫米,但实际上,改良后生产出来的晶圆直径居然达到117毫米,虽然没达到6英寸,但也算是45英寸级!
晶圆直接更大,不仅仅是原材料产能增加的问题,更关键的是,相对于4英寸的晶圆而言,更大直径的晶圆加工出来的芯片的良品率也会更高。
貌似,目前国际市场上6英寸的单晶炉也是禁止对天朝出口的,原本4英寸的单晶炉也需要进口。只不过,由于维创电子的异军突起,促进了国产半导体产业的发展,像单晶炉这种设备属于用几次就要更换的消耗品,用国产的自然是更便宜。而因为有维创电子的订单,所以,国内有足够的动力把4英寸单晶炉技术搞成白菜价。
但是6英寸的单晶炉,目前技术上还存在一定难度。至少要几年功夫,才能做到国产化。然而这项热屏技术就让4英寸的单晶炉居然升级成了45英寸的单晶炉。技术人员自然感觉到非常激动,因为,原本6英寸的单晶炉的技术门槛,可能已经因为热屏技术就被轻易捅破了!
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